電子顯微鏡，用來觀察很多在可見光下看不見的納米級物體，例如病毒。

掃描電鏡成像基礎(chǔ)

掃描電鏡襯度的形成主要基于樣品微區(qū)諸如表面形貌、原子序數(shù)或化學(xué)成分、晶體結(jié)構(gòu)或取向等方面存在著差異。

二次電子（SE）

入射電子受樣品的散射與樣品的原子進行能量交換，使樣品原子的外層電子受激發(fā)而逸出樣品表面，稱為二次電子。二次電子來自樣品表面十幾納米的區(qū)域，其能量小于50eV，不包含與元素相關(guān)的信息，用來表征樣品的表面信息。

背散射電子（BSE）

入射電子受到樣品原子核散射而大角度反射回來的電子稱為背散射電子，其產(chǎn)額隨原子序數(shù)的增加而增加，可用于形貌及成分分析。

如何評價掃描電鏡圖片

分辨率高，顯微結(jié)構(gòu)清晰可辨

襯度適中，圖像中無論黑區(qū)或白區(qū)的細節(jié)都能看清楚

信噪比好，沒有明顯的雪花狀噪聲

景深好，圖像沒有局域的欠焦或過焦現(xiàn)象

真實，圖片所展示的是真實的樣品形貌和結(jié)構(gòu)

影響掃描電鏡成像的因素

電子槍的種類：場發(fā)射、LaB6或鎢燈絲的電子槍

電鏡的像差：球差、色差、像散、衍射差

電磁透鏡的型式：內(nèi)透鏡、外透鏡、半內(nèi)透鏡

環(huán)境因素：振動、磁場、噪音、接地

操作條件：加速電壓、工作電流、電子束合軸、物鏡光闌、掃描速率、樣品處理、真空度等

以樣品陶瓷為例，低加速電壓可以獲得清晰的表面層次信息。

而觀察高分子樣品，例如人造纖維時，低加速電壓可以減少電子束對樣品的損傷。

掃描電鏡觀察常見的問題：荷電現(xiàn)象

采用噴鍍（Au、Pt、C…）方式消除荷電現(xiàn)象

表面導(dǎo)電 → 降低荷電

增加導(dǎo)熱性能 → 降低電子束損傷

增加信號激發(fā)效率

降低操作技術(shù)要求

在不噴鍍金屬層（使用離子濺射儀等）的情況下

1 降低加速電壓或使用減速模式

2 減少照射電流

3 改變接受信號

4 改變Capture條件

5 制樣技巧

6 低真空工作

掃描電鏡常用附件介紹

X射線能譜儀（EDS）

定性分析：確定樣品中各元素的組成，確定元素在樣品中的分布狀態(tài)。

定量分析（半定量）：根據(jù)能譜中各元素特征X射線的強度值，可以確定樣品中各元素的含量或濃度。
 

X射線波譜儀（WDS）

利用一塊已知晶面間距的單晶體（分光晶體），通過實驗測得衍射角θ ，再根據(jù)公式算出X射線的波長，從而確定是什么元素。

冷臺和冷凍傳輸系統(tǒng)

掃描電鏡只能觀察固體樣品，通過冷凍運輸系統(tǒng)冷凍后可觀察液體。（圖為酸奶）

日立掃描電鏡推薦貨號

TM4000  臺式電鏡（基礎(chǔ)款）

SU5000  熱場發(fā)射掃描電鏡

更多詳情歡迎咨詢上海正晃。

聯(lián)系方式

公司地址：上海市廣元西路315號聯(lián)峰匯3樓C室

聯(lián)系電話：021 - 60905268

公司郵箱：seikocn@seikonet.cn